超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用，使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的。

物质在溶液中相互溶解的性质十分复杂，有许多制约因素，如温度、压强等。从分子结构的角度，存在“相似相溶”(like dissolves like)的规律。相似相溶原理是指由于极性分子间的电性作用，使得极性分子组成的溶质易溶于极性分子组成的溶剂，难溶于非极性分子组成的溶剂；非极性分子组成的溶质易溶于非极性分子组成的溶剂，难溶于极性分子组成的溶剂。具体到光学零件镀膜前的清洗，清洗溶液的存在可以使水的表面张力得到极大程度的降低，并使固液面发生极大程度的润湿、渗透、乳化等一系列的化学作用．从而使光学零件表面的污物脱离零件表面。需要注意的是，由于光学零件组成材料成分差别很大，造成其表面硬度和化学活性也大相径庭。

为保护光学零件表面在清洗过程中不受清洗剂的腐蚀，以及零件能得到快速彻底地清洗，所以要十分注意清洗剂的选择及溶液的浓度要求。清洗溶液应该具备以下四点：从污物的性质来选择化学作用效果好的清洗剂，如惠州科灵的KL一603产品为低泡沫非离子型碱性清洗剂除油能力强，具有高效的界面活性剂，可快速去除指纹印及研磨剂，并对各类油脂有良好的脂化效果；对设备和玻璃表面无腐蚀或污染；清洗剂稳定性好(如清洗能力、化学稳定性、浊点、温度等)，选择表面张力、蒸汽压及黏度合适的清洗剂。这些特性与超声空化强弱有关，液体的表面张力大则不容易产生空化，但是当声强超过空化阈值时，空化泡崩溃释放的能量也大，有利于清洗。高蒸汽压的液体会降低空化强度，而液体的黏滞度大也不容易产生空化，因此蒸汽压高和黏度大的清洗剂都不利于超声清洗；清洗溶液对环境无污染，对操作者无毒害。